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碳化硅
碳化硅部件

碳化硅部件简介

在材料产品中,CVD-SiC是颇具成长性的产品,该产品可作为半导体生产设备的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1结合构成的一种化合物,其硬度仅次于钻石和碳化硼。Ferrotec应用含有硅和碳的气体即CVD工艺法来进行制造。以硅片为例,采用CVD法将碳化硅涂覆在加工成圆盘状的石墨基材表面,切削外缘后,通过高温氧化除去石墨基材,再经过数道后续加工,硅片就完成了。在能源等高端产业领域,碳化硅这种高纯度材料受到越来越多的关注。
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耐热性
耐热性
化学稳定性
化学稳定性
抗氧化性
抗氧化性
碳化硅部件的特性
Ferrotec SiC部件产品具有较高的抗氧化性、化学稳定性和耐热性,具备在2000度高温时也可保持稳定的优良特性。它们被广泛地应用于半导体材料的制造过程中需要的晶圆舟、管和代替硅片的仿真晶圆,也广泛运用于高温时使用的夹具产品。在半导体生产设备、汽车领域、能源领域等领域有广泛应用。
应用场景
  • 半导体生产设备
    半导体生产设备
  • 汽车领域
    汽车领域
  • 能源领域
    能源领域
半导体生产设备
汽车领域
能源领域
半导体生产设备
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汽车领域
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能源领域
能源领域
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
该产品的生产基地